所屬欄目:行業(yè)新聞作者:越聯(lián)儀器點(diǎn)擊率:發(fā)布時(shí)間:2019-10-22 14:49:48
產(chǎn)品描述
Smartproof 5快速轉盤(pán)共聚焦顯微鏡以共聚焦光學(xué)為基本原理,采用獨創(chuàng )的高速轉盤(pán)掃描技術(shù)為成像方法,將高分辨率與速度完美結合在一起,是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓,并可實(shí)現非接觸式表面粗糙度測量的精密分析儀器。
Smartproof 5擁有業(yè)內最佳的高分辨率和高速度共聚焦系統,專(zhuān)利的轉盤(pán)共聚焦技術(shù)有效地減少獲取分析結果的時(shí)間。集成和穩固設計確保無(wú)附加防振設備下能夠在不同環(huán)境中安裝并使用,獨有的操作者模式適合工業(yè)生產(chǎn)的批量檢測任務(wù),能夠極大地提高檢測效率。蔡司以她最尖端的光學(xué)技術(shù)和基于用戶(hù)的設計理念,再次向世界證明了光學(xué)領(lǐng)導品牌的地位。
產(chǎn)品特點(diǎn)
l高分辨
由于采用了共聚焦成像原理,Smartproof 5將傳統光學(xué)分辨率提高1.4倍,其XY方向線(xiàn)分辨率達到120 nm。
l高測量精度
同時(shí),在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎上,Smartproof 5配備了精度高、重復性好的Z軸自動(dòng)步進(jìn)裝置,最小步進(jìn)精度達到1nm,這使得高度上亞微米,甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。
l高速掃描
傳統共聚焦采用點(diǎn)掃描成像,速度較慢;而Smartproof 5采用轉盤(pán)掃描,成像速度大大提高,最快的高精度模式掃描速度超過(guò)50幅/秒(2048*2048分辨率),可以說(shuō)瞬間即可得到測量結果,大大提高工作效率。
l真實(shí)色彩還原
還可使用三色LED光源,能夠展現被測試樣表面的真實(shí)顏色,從而將傳統黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應用領(lǐng)域。
技術(shù)參數:
1. 波長(cháng):405nm
2. 分辨率:120nm
3. Z軸最小步進(jìn)精度:1nm
4. 成像速度:常規共聚焦的2-3倍
5. 物鏡:2.5x-100x
6. 高度掃描范圍:高達5mm
7. 載物臺:150mm×150mm超大行程
8. 控制系統:Smartproof 5應用軟件
9. 圖像處理和數據測量:
2D:距離,高度,角度,構造元素,基于ISO 4287的輪廓粗糙度
3D:水平距離,3D距離,高度,角度,構造點(diǎn),面積,體積,基于ISO 25178的面粗糙度
其他:水平調整,形狀去除,濾波,去噪,報告
應用
1. 汽車(chē)制造:研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量
2. 航空航天工業(yè):評價(jià)橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析
3. 醫療器械:植入器官的表面測量
4. 微光學(xué)/機械制造:敏感精密光學(xué)部件的表面測量、精密機械部件的精密幾何測量
5. 電子:導線(xiàn)的幾何量測量(寬度,厚度等)、焊接結點(diǎn)的質(zhì)量過(guò)程控制
6. 造紙:紙張以及印刷品的表面測量
應用圖例:
激光刻蝕表面,帶表面紋理圖層的3D 彩色編碼高度圖
衍射光學(xué)器件,彩色編碼高度圖
研磨鋁表面,帶表面紋理圖層的3D顯示圖
臺階高度標樣測試(標準高度1.777±0.011mm,NIST認證),實(shí)測臺階高度1.772mm。
上圖:三維偽彩圖;下圖:二維輪廓線(xiàn)圖。
粗糙度標樣測試結果。標準粗糙度Ra = 2.97mm,實(shí)測Ra=2.962mm。
20x物鏡,4x1三維拼接,cut-off值取1/5取樣長(cháng)度。